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15T/H超纯水系统应用于半导体超纯水项目

作者:lin发表时间:2022-06-23


  一、项目概述

  近日,某半导体超纯水项目的15T/H超纯水系统已成功出厂验收。超纯水系统出水水质符合澳门美梅高注册国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、12MΩ.cm、0.5MΩ.cm四级标准)等国内外大规模集成电路水质标准。

  15T/H超纯水系统采用膜表面嫁接技术达到更好的脱盐率。PLC智能化程序方便灵活操作,节省人力投入。新型洁净循环管道技术保证系统运行无污染物析出,确保系统内无死水。CDI新型电除盐技术,高频电子极板形成强电场运行环境,有效提高脱盐率。

  二、工艺流程

  原水经过双级反渗透设备后,经过TOC脱除器降解有机物,随后进入EDI模块,出水水质可达15MΩ·CM以上,然后再经过二级TOC脱除器后进行深度降级TOC,使产水TOC下降至3ppb以下,之后进入脱气膜脱除溶解氧,然后进入核子级混床,使出水水质达到18.2MΩ·CM。超纯水系统具有结构合理简单、连续运行、操作方便、自动化程度高、使用寿命长、自动化运行、占地面积小、出水水质高等优势。

  三、技术特点及优势

  1、无需使用任何再生化学品进行再生,减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。

  2、无需中和药剂。EDI膜块不会有酸碱废液产生,所以不需要酸碱中和池,一般情况下,EDI进水为二级反渗透产水,水质较好,及时经过EDI系统的浓缩之后,EDI的浓水水质仍然优于一级反渗透产水,所以EDI浓水可以回流至一级反渗透产水箱。

  3、整套系统运行成本较低。这是因为反渗透没有酸碱再生,减少了相关费用的产生。

  4、可以连续工作,无需树脂更换,自动化性能强,无需人工操作。

  5、设计结构紧凑,占地面积小,安装方便。

  电子级超纯水系统采用独有的靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除同时还能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。在晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等领域多有应用。



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