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超纯水设备为晶圆生产制造提供强有力支撑

文章出处:澳门美梅高注册作者:澳门美梅高注册发表时间:2022-07-26 16:22:07

  晶圆就是指用以生产制造硅半导体材料电源电路的单晶硅片。它的原料是硅。将高纯度多晶硅溶解,与硅晶种混合,然后缓慢拉出,形成圆柱形单晶硅。通过碾磨、打磨抛光和切成片后,产生硅晶圆片,即单晶硅片。晶圆的关键生产加工方式是片生产加工和批加工,即一个或好几个晶圆与此同时生产加工。随着清洁度的提高,颗粒数量也呈现出新的数据特征。晶圆成品率的提高直接关系到芯片的市场竞争力。

  提高晶圆产量可以从清洁水质开始。现阶段,电子晶圆行业超纯水设备大多数选用ro反渗透+EDI+抛光阳离子树脂的生产工艺流程。这也是一种绿色环保、经济发展且有潜能的超纯水制备加工工艺。与传统式超纯水制备加工工艺对比,该加工工艺减少了操作系统的运作成本费。EDI模块不造成强酸强碱废水,不用酸碱中和罐。EDI水净化系统造成的萃取水一般可以回收利用。整个体系的运作费用较低。EDI电子晶圆行业超纯水设备主要消耗电力维持系统运行,低于传统混床工艺。水资源利用率高。水源使用率高。与阳离子树脂加工工艺对比,EDI电子晶圆行业超纯水设备的水使用率可达95~99%,合理增强了水源的使用率。EDI电子晶圆行业超纯水设备不用拆换环氧树脂就可以持续工作,自动化技术水平高,不用人为实际操作。EDI电子晶圆行业超纯水设备结构紧凑,占地总面积小,安装便捷。

  电子晶圆行业超纯水设备现阶段正从晶圆的基本水平起,执行维护晶圆纯净度的岗位职责,不断平稳地制取达到晶圆生产制造需用的超纯水系统,产水量电导率可达18MΩ·CM(25℃)。

 

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