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为什么半导体加工生产中会应用超纯水?

文章出处:作者:发表时间:2021-06-18 13:57:38

   什么是超纯水?超纯水是指一种电阻率达到18 MΩ*cm的一种水,这类水几乎没有什么杂质,不含有任何细菌、病毒等有机物,完全可用作半导体领域。这样的超纯水普通工艺基本很难制取出来,并且对于超纯水制取的标准也是极其严格的。

  半导体在加工生产的过程中会需要一定量的超纯水,对于其品质的要求也是极高的。如果超纯水水质不达标的话,水中的杂质很有可能影响半导体的电阻率,影响其成品效果。对比传统超纯水生产工艺澳门美梅高注册超纯水设备采用膜技术,在应用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合的工艺来制取超纯水,具有运行成本低,运行可靠的优点,出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

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  澳门美梅高注册超纯水设备引人注目的优点:

  1、有效降低水质的离子含量

  EDI是一种将离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术,无需酸碱再生,是一种新型的脱盐方式。EDI无需再生化学品的再生,运行成本低,EDI系统的自动化程度很高,连续工作,出水水质好且稳定,出水电阻率≥15MΩ·CM。

  2、高品质高回收率

  设备采用曲线微导力技术,应哟名超纯水膜元件,在抛光段采用陶氏进口抛光树脂以及澳门美梅高注册自主研发的除硼专用树脂,在保证系统高回收率的同时,有效提高系统的产水水质。

  3、自动化程度高、运行费用低

  自动化程度高,遇故障立即自停,具有自动保护功能,且能耗低、水利用率高、运行成本低。

  澳门美梅高注册超纯水设备因其结构设计比较紧凑,占地面积小,可以为企业节省大量的空间得到了许多半导体行业的欢迎。可广泛运用于电子芯片、集成电路及封装、光伏、、晶圆、科研、航空航天、半导体等领域。

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